工联网消息(IItime) 近日，位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯：作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’！”团队负责人告诉记者，依托省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。

“羲之”取名自书法家王羲之，“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。”研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。

此前，此类设备受国际出口管制，中国科学技术大学、之江实验室等国内顶尖科研机构长期无法采购，“羲之”的落地有望打破这一困局。记者了解到，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。